[国际资讯]GAA构架时代来临应材推新设备组合
韬客外汇论坛分析师称,随着台积电(2330-TW)(TSM-US)、三星陆续在2奈米、3奈米导入GAA构架,美商应用材料(ATMT-US)今(25)日也宣布,除了协助客户运用EUV持续进行2D微缩外,也展示次世代3D闸极全环电晶体(GAA)制造技术组合。
应材表示,芯片制造商正试图透过两个相互搭配的途径,增加未来数年的晶体管密度,一种是依循传统摩尔定律的2D微缩技术,透过EUV微影系统与材料工程以缩小线宽,另一种则使用设计技术最佳化(DTCO)与3D技术,布局最佳化逻辑单元去增加密度,且不需要改变微影间距。
以3D技术来看,应材指出,3D技术需采用晶背电源,分配网络与闸极全环(GAA)晶体管,随着传统2D微缩技术逐渐式微,预计此技术将有效提升逻辑单元密度的比率,进一步协助晶圆厂改善次世代逻辑芯片的功率、性能、单位面积、成本与上市时间(PPACt)。
应材半导体资深副总裁暨半导体产品事业群总经理帕布‧若杰(Prabu Raja)强调,公司策略是成为PPACt推动公司,已备妥为GAA制造提供业界最完整的产品组合,包括在磊晶、原子层沉积、选择性去除材料的新步骤及两种新整合性材料解决方案,以产生合适的GAA闸极氧化层与金属闸极。